Es wird eine Übersicht über die Grundlagen der Photolithographie und Strukturierung zur Herstellung von mikrotechnischen Bauteilen gegeben. In kurzen theoretischen Einführungen werden hierzu der Aufbau der Bauteile, die Aufgabe der Fotolacke und der Prozessablauf der Photolithographie und die Strukturierung an Anwendungsbeispielen erläutert. Im praktischen Seminarteil wird eine Mikrospule gefertigt. Nach einer Einführung in reinraumgerechtes Arbeiten werden die eingesetzte Prozesse wie Reinigung, Belackung, Entwicklung, Thermobehandlung, Mikrogalvanik und Trockenätzen erklärt und am Demonstrator durchgeführt.